Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

HNILICA Jaroslav KLEIN Peter HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Rok publikování 2015
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution of HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends only on the actual value of the discharge current for given pressure. Rotation of the spokes over the target surface and the frequency of the oscillations on cathode voltage and discharge current show different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.